Application: Defect Size Calibration Equipment: Defect Inspection Material: Polystyrene Latex Sphere (PSL) on Silicon Traceability: NIST Product Range: 40 nm to 4 µm* *Other sizes and sphere counts available upon request Wafer Diameter 100 mm 125 mm 150 mm 200 mm 300 mm Number of Spheres 500 500 7,500 or 16,000 7,500 or 16,000 7,500 or 16,000 Particle Diameter (nm) 40 (D)   ACS12-40D-16K 50 (D)   ACS8-50D-16K ACS12-50D-16K 60 (D)   ACS8-60D-16K ACS12-60D-16K 73 (D)   ACS8-73D-16K ACS12-73D-16K 83 (D)   ACS8-83D-16K ACS12-83D-16K 126 (D)   ACS8-126D-16K ACS12-126D-16K 155 (D)   ACS6-155D-16K ACS8-155D-16K ACS12-155D-16K 184 (D)   ACS6-184D-16K ACS8-184D-16K ACS12-184D-16K 204 (D) ACS4-204D-16K ACS5-204D-16K ACS6-204D-16K ACS8-204D-16K ACS12-204D-16K 304 (D) ACS4-304D-500 ACS5-304D-500 ACS6-304D-16K ACS8-304D-16K ACS12-304D-16K 360 (D) ACS4-360D-500 ACS5-360D-500 ACS6-360D-16K ACS8-360D-16K ACS12-360D-16K 494 (D) ACS4-494D-500 ACS5-494D-500 ACS6-494D-16K ACS8-494D-16K ACS12-494D-16K 802 (D) ACS4-802D-500 ACS5-802D-500 ACS6-802D-16K ACS8-802D-16K ACS12-802D-16K 1112 (D) ACS4-1112D-500 ACS5-1112D-500 ACS6-1112D-7.5K ACS8-1112D-7.5K ACS12-1112D-7.5K 3040 (D) ACS4-3040D-500 ACS5-3040D-500 ACS6-3040D-7.5K ACS8-3040D-7.5K ACS12-3040D-7.5K 4000 (D) ACS4-4000D-500 ACS5-4000D-500 ACS6-4000D-7.5K ACS8-4000D-7.5K ACS12-4000D-7.5K (D) - Spheres supplied by Duke Scientific (S) - Spheres supplied by Seradyn