 |
| Application: |
Defect Size Calibration |
| Equipment: |
Defect Inspection |
| Material: |
Polystyrene Latex Sphere (PSL) on Silicon |
| Traceability: |
NIST |
| Product Range: |
40 nm to 4 µm* |
| *Other sizes and sphere counts available upon request |
|
| Wafer Diameter |
125 mm |
150 mm |
200 mm |
300 mm |
| Number of Spheres |
500 |
7,500 or 16,000 |
7,500 or 16,000 |
7,500 or 16,000 |
| Particle Diameter (nm) |
| 40 (D) |
|
ACS12-40D-16K |
| 50 (D) |
|
ACS8-50D-16K |
ACS12-50D-16K |
| 60 (D) |
|
ACS8-60D-16K |
ACS12-60D-16K |
| 73 (D) |
|
ACS8-73D-16K |
ACS12-73D-16K |
| 83 (D) |
|
ACS8-83D-16K |
ACS12-83D-16K |
| 126 (D) |
|
ACS8-126D-16K |
ACS12-126D-16K |
| 155 (D) |
|
ACS6-155D-16K |
ACS8-155D-16K |
ACS12-155D-16K |
| 184 (D) |
|
ACS6-184D-16K |
ACS8-184D-16K |
ACS12-184D-16K |
| 204 (D) |
ACS5-204D-16K |
ACS6-204D-16K |
ACS8-204D-16K |
ACS12-204D-16K |
| 304 (D) |
ACS5-304D-500 |
ACS6-304D-16K |
ACS8-304D-16K |
ACS12-304D-16K |
| 360 (D) |
ACS5-360D-500 |
ACS6-360D-16K |
ACS8-360D-16K |
ACS12-360D-16K |
| 494 (D) |
ACS5-494D-500 |
ACS6-494D-16K |
ACS8-494D-16K |
ACS12-494D-16K |
| 802 (D) |
ACS5-802D-500 |
ACS6-802D-16K |
ACS8-802D-16K |
ACS12-802D-16K |
| 1112 (D) |
ACS5-1112D-500 |
ACS6-1112D-7.5K |
ACS8-1112D-7.5K |
ACS12-1112D-7.5K |
| 3040 (D) |
ACS5-3040D-500 |
ACS6-3040D-7.5K |
ACS8-3040D-7.5K |
ACS12-3040D-7.5K |
| 4000 (D) |
ACS5-4000D-500 |
ACS6-4000D-7.5K |
ACS8-4000D-7.5K |
ACS12-4000D-7.5K |
(D) - Spheres supplied by Duke Scientific
(S) - Spheres supplied by Seradyn
|
